SGM 1100度開(kāi)啟式RTP快速升降溫退火爐是由洛陽(yáng)西格馬高溫電爐研發(fā)生產(chǎn)的的高性能快速熱處理電阻爐，為實(shí)驗(yàn)室科研用rtp快速退火爐。?1100度開(kāi)啟式RTP快速升降溫退火爐采用紅外燈管加熱，通過(guò)滑動(dòng)爐體實(shí)現(xiàn)快速升降溫。該系列快速升降溫退火爐造型新穎結(jié)構(gòu)合理，爐體上下兩半設(shè)計(jì)，可自由打開(kāi)閉合，安全可靠，爐管外徑100mm，爐膛采用高純氧化鋁纖維材料真空吸附成型，表面涂有高反射率高溫保護(hù)涂層，既能降低熱量損耗，還能提高爐內(nèi)溫度穩(wěn)定性。試驗(yàn)樣品放置于密封的石英管內(nèi)，內(nèi)部潔凈度高，可降低間接污染的可能。
RTP快速升降溫退火爐可應(yīng)用在半導(dǎo)體、納米技術(shù)、碳纖維、石墨烯生長(zhǎng)等新型材料工藝領(lǐng)域。也同樣適用于要求升降溫速度比較快的氣氛燒結(jié)、真空淬火退火及CVD等工藝實(shí)驗(yàn)。該系統(tǒng)可滿(mǎn)足離子注入后的快速退火，也可用于歐姆接觸快速合金，還可用于硅化物合金退火，氧化物生長(zhǎng)，以及銅銦鎵硒光伏應(yīng)用中的硒沉積等快速熱處理工藝場(chǎng)合

洛陽(yáng)西格馬高溫電爐可生產(chǎn)

RTP快速升降溫退火爐特點(diǎn)：

1、爐體采用雙層風(fēng)冷殼體結(jié)構(gòu)，爐殼合理的角度（風(fēng)冷的導(dǎo)向）設(shè)計(jì)能有效的保證爐殼所有表面的溫度低
2、爐體操作面板合理的角度設(shè)計(jì)，讓您的操作觀察更加合理人性化；
3、采用真空吸附成型的高純氧化鋁纖維爐膛；表面涂有高溫氧化鋁層，可以提高加熱效率且爐膛不易開(kāi)裂；
4、采用紅外燈管加熱

5、爐管采用高純石英或99剛玉爐管，兩種材質(zhì)均耐腐蝕，可承受聚冷聚熱的溫度變化、兩端采用SUS304高真空法蘭密封。

6、爐體兩端安裝有爐管防護(hù)網(wǎng)及爐管法蘭支撐裝置，防止兩端裸漏的爐管高溫燙傷及爐管高溫下兩端的受力過(guò)重；

7、爐管密封法蘭及針型閥均采用304材質(zhì)，進(jìn)出氣口采用通用接口，可方便客戶(hù)根據(jù)不同的工藝進(jìn)行接頭的互換，可配合我公司的真空組、流量計(jì)、混氣罐使用，可實(shí)現(xiàn)一機(jī)多用化；

8、采用PID溫控調(diào)節(jié)，可編程30段控溫程序；恒溫精度±1℃；溫控儀表接口豐富，可實(shí)現(xiàn)通訊、聯(lián)機(jī)操作等功能；

9、設(shè)備具有超溫、斷偶報(bào)警自動(dòng)斷電功能，操作簡(jiǎn)單、安全可靠；

10、爐體自帶超溫保護(hù)及漏電保護(hù)功能，確保設(shè)備使用的安全性；

11、合理的氣路支架裝置，杜絕了氣路因自身重力而造成的爐管損壞；
12、爐體下部配有軌道，可左右移動(dòng)至底部風(fēng)扇處，以達(dá)到快速冷卻的目的。
13、爐體移動(dòng)自動(dòng)化且有滑動(dòng)限位功能，避免爐體碰撞;風(fēng)冷設(shè)計(jì)，使樣品實(shí)現(xiàn)快速降溫。

RTP快速升降溫退火爐主要參數(shù)：

電爐名稱(chēng)	SGM1100-RTP快速升降溫退火爐
額定溫度	1100℃
長(zhǎng)期溫度	1000℃
加熱元件	紅外燈管
溫度測(cè)量精度	±0.2℃
控溫精度	±1℃
快升溫速率	35℃/S（可按需定制）
降溫速率	1/200℃（將試樣移出加熱區(qū)域或通氮?dú)饪杉涌旖禍兀?
溫度控制	觸摸屏，PID30段程序控制。
功率	12 Kw
額定電壓	AC380V，50/60Hz
測(cè)溫元件型號(hào)	N型熱電偶
石英管規(guī)格	Φ120*900
真空度	6*10-3Pa（選配，配分子泵）
抽氣端口尺寸	Φ6mm或KF40（配分子泵用KF40接口）
進(jìn)氣端口尺寸	Φ6mm
外形尺寸	深600*寬1520*高700
設(shè)備重量	100Kg

鋁合金爐膛：鋁合金水冷鍍金爐膛，導(dǎo)熱性能好，有效提高降溫速率

石英爐膛：石英爐膛為可拆卸結(jié)構(gòu)，當(dāng)爐膛內(nèi)被煙霧污染，導(dǎo)致升溫速率降低時(shí)，可將石英爐膛拆下清洗

洛陽(yáng)西格馬高溫電爐可根據(jù)客戶(hù)需求定制各種：非標(biāo)高溫爐、管高溫式爐、快速燒結(jié)爐、快速退火爐、快速熱處理爐、真空燒結(jié)爐、焊接爐、igbt焊接爐、真空焊接爐、實(shí)驗(yàn)室焊接爐、真空爐、真空烤瓷爐、cvd烤盤(pán)爐、mocvd烤盤(pán)爐、擴(kuò)散爐、退火爐、合金爐、交換爐、升華爐、氧化爐、氣氛爐、氫氣爐、cvd爐、隧道爐及工業(yè)爐專(zhuān)用爐體等各種工業(yè)、實(shí)驗(yàn)室用熱處理設(shè)備。

rtp快速退火爐國(guó)外品牌有哪些？

rtp快速退火爐全稱(chēng)rapid thermal processing furnace，快速退火爐是以碘鎢燈管為加熱元件，升溫速度極快，采用S型熱電偶測(cè)溫并采用國(guó)際的模糊PID控制，具有很高的控溫精度〈±5℃〉，快速退火爐具有真空裝置，可在多種氣氛下工作。