PECVD系統(tǒng)：管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)
洛陽(yáng)西格馬高溫電爐可生產(chǎn)PECVD系統(tǒng)?、管式氣相沉積爐、井式氣相沉積爐。PECVD系統(tǒng)由管式爐，石英真空室、真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)等組成。
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PECVD系統(tǒng)主要應(yīng)用于金屬薄膜，陶瓷薄膜等，復(fù)合薄膜，石墨烯等生長(zhǎng)。
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PECVD系統(tǒng)增加功能容易，可擴(kuò)展等離子清洗刻蝕等功能，PECVD系統(tǒng)薄膜沉積速率高、均勻性好、一致性和穩(wěn)定性高等點(diǎn)。
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PECVD系統(tǒng)主要特點(diǎn)：
通過(guò)射頻電源把石英真空室內(nèi)的氣體變?yōu)殡x子態(tài)。PECVD比普通CVD進(jìn)行化學(xué)氣相沉積所需的溫度更低。
可以通過(guò)射頻電源的頻率來(lái)控制所沉積薄膜的重力大小。
PECVD比普通CVD進(jìn)行化學(xué)氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩(wěn)定性高。
廣泛應(yīng)用于：各種薄膜的生長(zhǎng)，如：SiOx,SiNx,SiOxNy和無(wú)定型硅(a-Si:H)等。
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PECVD系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)：
爐膛尺寸：60/80/100/120*400mm（直徑*加熱區(qū)）機(jī)器電源：AC220V，50/60Hz；額定功率5kw
爐體結(jié)構(gòu)：雙層殼體風(fēng)冷結(jié)構(gòu)
爐膛材質(zhì)：真空吸附成型的質(zhì)高純氧化鋁纖維固化爐膛，保溫性能好
爐膛設(shè)計(jì)：爐體采用臺(tái)階式拼裝構(gòu)造，爐門和爐門框采用整體設(shè)計(jì)，有效的保證了爐膛的不塌頂，爐門和爐門框的緊密配合使熱能不易散失和增長(zhǎng)了爐門部分的使用壽命。
溫控系統(tǒng)：溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能，并可編制30段升降溫程序；控溫精度±1℃
真空度??：10-1pa
顯示模式：宇電數(shù)顯
加熱元件：電阻絲
測(cè)溫元件：K型熱電偶，測(cè)量范圍[0/1300°C]
使用溫度：額定溫度1200℃，連續(xù)工作溫度≤1100℃
升溫速度：推薦≤10℃/min，設(shè)計(jì)快升溫速度15℃/min
外形尺寸：以設(shè)計(jì)為準(zhǔn)
產(chǎn)品認(rèn)證：本產(chǎn)品通過(guò)了歐盟CE認(rèn)證和ISO90012008質(zhì)量管理體系認(rèn)證
執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)：GB/T：10066.1/2004、GB/T10067.4/2005
標(biāo)準(zhǔn)配置：主機(jī)1臺(tái)，真空機(jī)組一套，射頻電源1套，供氣系統(tǒng)1套，坩堝鉗1把，高溫手套一副、說(shuō)明書、合格證、保修卡各1份
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PECVD系統(tǒng)射頻電源技術(shù)參數(shù)
| RF射頻電源主要技術(shù)參數(shù) | 功率輸出范圍 | ?0-500W |
| 額定反射功率 | 200W | |
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工作頻率 ? |
射頻13.56MHZ±0.005% | |
| 功率穩(wěn)定度 | +/-0.1% | |
| 諧波分量 | ≤-50dbc | |
| 射頻區(qū)域?qū)挾?/td> | 0-600mm可調(diào) | |
| 匹配方式 | 自動(dòng) | |
| 冷卻方式 | 風(fēng)冷 | |
| 噪聲 | <50dB | |
| 射頻接口 | 50Ω??N-type | |
| 輸入電源 | 208-240V?50/60HZ |
PECVD系統(tǒng)供氣系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)
| ? | 質(zhì)量流量計(jì) |
量程和氣體 ? ? |
5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM? （你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類型） |
| 耐壓 | 3MP | ||
| 流量控制精度 | ±1.0%F.S | ||
| 額定工作（使用）壓力 |
0.3MPa ? |
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| 線性 | ±0.5%F.S. | ||
| 重復(fù)精度 | ±0.2%F.S | ||
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路數(shù) ? |
?1、2、3、4、5、6、7、8路（可任意選擇幾路） | ||
| 接頭類型 | 雙卡套不銹鋼接頭 | ||
| 系統(tǒng)工作壓力范圍 | 0.1~0.5：MPa | ||
| 工作溫度 | 5-45℃ | ||
| 壓力真空表 | -0.1~0.15MPa???0.01MPa/格 | ||
| 靜態(tài)混氣室 | Dia50X400MM | ||
| 接口 |
Dia6?/1/4” ? |
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