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洛陽西格馬高溫電爐有限公司

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1200度三溫區(qū)CVD管式爐系統(tǒng)|1200度CVD管式爐
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1200度三溫區(qū)CVD管式爐系統(tǒng)|1200度CVD管式爐

  • 系列：SGM
  • 別稱：1200度CVD管式爐
  • 溫度：
  • 規(guī)格：
  • 類型：高溫管式爐
  • 咨詢熱線：400-600-3293

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    1200度三溫區(qū)CVD管式爐介紹：

    SGM1200度三溫區(qū)CVD管式爐由SGM 1200度管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)組成 ，溫度可以達到1200度。管式可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空可以達到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調節(jié)可以是質子流量計或浮子流量計，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。

    1200度管式爐采用摻鉬合金加熱絲為加熱元件，采用雙層殼體結構和日本島電或宇電控溫儀表，能進行30段程序控溫，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用日本氧化鋁多晶纖維材料，具有溫場均衡、表面溫度低、節(jié)能等點。

    1200度三溫區(qū)CVD管式爐應用范圍：

    1200度三溫區(qū)CVD管式爐是一種特殊的CVD系統(tǒng)，是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的不錯產品。

    1200度三溫區(qū)CVD管式爐主要技術參數(shù)：

    CVD管式爐 1200度管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)
    高溫爐殼體 采用雙層殼體結構，并帶有風冷系統(tǒng)，使得殼體表面溫度小于55℃，內爐膛表面涂有1750℃氧化鋁涂層材料提高反射率及爐膛潔凈度?
    加熱元件 摻鉬鐵鉻鋁合金
    額定溫度 1200℃
    連續(xù)工作溫度 1100℃
    升溫速率 <=?20?℃
    爐管材質和尺寸 石英管:?OD:?80mm?x??ID:?75?mm?x?Length:?1000?mm?
    加熱區(qū)長度 三溫區(qū)：200+200+200 mm
    恒溫區(qū)長度 350??(+/-1?℃)?
    控溫系統(tǒng) PID30段程序化控溫
    控溫精度 ±1?℃
    真空密封系統(tǒng) 兩個不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計和截止閥），額定漏氣率6?mtorr/min
    真空泵 采用雙旋機械泵，機械泵上安裝有油污過濾器，可以過濾真空泵工作時產生的油煙，減少泵油的損耗，保護環(huán)境和人體健康，過濾的設計小微粒直徑為0.3微米。
    數(shù)字式真空顯示計?? 數(shù)顯真空計,已安裝在不銹鋼法蘭上?
    混氣系統(tǒng) 三個質量流量計
    三路質量量程分別為
    10/100?cc/min.
    16/160?cc/min.
    25-250?cc/min
    內部安裝有一混氣罐?
    功率 2.5?KW
    電壓 AC?208-240V?單相,?50/60?Hz?
    售后服務 質保一年，終身保修



    1200度CVD管式爐可選配件：

    質量混氣系統(tǒng)1臺、雙旋機械泵1臺、K型熱電偶1支、氣煉石英爐管1根、不銹鋼法蘭1套、不銹鋼爐鉤1、爐塞1對、高溫手套1副、說明書1份


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