作為專業(yè)的cvd生產(chǎn)廠家，洛陽(yáng)西格高溫電爐有限公司可生產(chǎn)cvd設(shè)備、cvd氣相沉積設(shè)備、cvd工藝設(shè)備。

CVD系統(tǒng)是什么？

CVD是化學(xué)氣相沉積的英文簡(jiǎn)寫(xiě)，西格馬生產(chǎn)的CVD系統(tǒng)是利用管式爐加熱，把構(gòu)成固態(tài)沉積物的氣態(tài)反應(yīng)劑或液態(tài)反應(yīng)劑的蒸氣及反應(yīng)所需其它氣體引入爐管內(nèi)，在爐管內(nèi)使氣態(tài)或蒸汽狀態(tài)的化學(xué)物質(zhì)在氣相或氣固界面上經(jīng)化學(xué)反應(yīng)形成固態(tài)沉積物的技術(shù)。

CVD系統(tǒng)分類：

CVD技術(shù)常常通過(guò)反應(yīng)類型或者壓力來(lái)分類，包括低壓CVD(LPCVD)，常壓CVD(APCVD)，亞常壓CVD(SACVD)，超高真空CVD(UHCVD)，等離子體增強(qiáng)CVD(PECVD)，高密度等離子體CVD(HDPCVD)以及快熱CVD(RTCVD)。然后，還有金屬有機(jī)物CVD(MOCVD)，根據(jù)金屬源的自特性來(lái)保證它的分類，這些金屬的典型狀態(tài)是液態(tài)，在導(dǎo)入容器之前必須先將它氣化。

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CVD系統(tǒng)組成：

CVD系統(tǒng)=管式爐+真空抽氣系統(tǒng)+多路供氣系統(tǒng)（或者液態(tài)蒸發(fā)系統(tǒng)）

CVD系統(tǒng)設(shè)備由沉積溫度控件、沉積反應(yīng)室、真空控制部件和氣源控制備件等部分組成亦可根據(jù)用戶需要設(shè)計(jì)生產(chǎn)，CVD成長(zhǎng)系統(tǒng)是利用氣態(tài)化合物或化合物的混合物在基體受熱面上發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而在基體表面上生成不揮發(fā)涂層的一種薄膜材料制備系統(tǒng)。

CVD系統(tǒng)做什么用的？

CVD系統(tǒng)該可供企業(yè)實(shí)驗(yàn)室，大專院校，科研院所等單位選用，設(shè)備為用戶提供具體真空、可控氣氛及高溫的實(shí)驗(yàn)環(huán)境，應(yīng)用在半導(dǎo)體，納米技術(shù)，碳纖維等新材料新工藝領(lǐng)域。

?CVD系統(tǒng)設(shè)備除了主要應(yīng)用在碳納米材料制備行業(yè)外，現(xiàn)在正在使用在許多行業(yè)，包括納米電子學(xué)、半導(dǎo)體、光電工程的研發(fā)、涂料等領(lǐng)域 。

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西格馬CVD系統(tǒng)用途：

西格馬CVD系統(tǒng)適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控

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生長(zhǎng)、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)真空淬火退火，快速降溫等工藝實(shí)驗(yàn)。

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CVD系統(tǒng)產(chǎn)品組成：

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配置：

1、1200度開(kāi)啟式真空管式爐（可選配多溫區(qū):單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)）。

2、滑動(dòng)系統(tǒng)分為手動(dòng)、電動(dòng)滑動(dòng)，并配有風(fēng)冷系統(tǒng)。

3、多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)（多路浮子流量計(jì)控制供氣系統(tǒng)、多路質(zhì)子流量計(jì)控制供氣系統(tǒng)）

4、真空系統(tǒng)（可選配中真空或高真空）? ??

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?產(chǎn)品特點(diǎn)：

1 、控制電路選用模糊PID程控技術(shù)，該技術(shù)控溫精度高，熱慣性小，溫度不過(guò)沖，性能可靠，操作簡(jiǎn)單。

2、 氣路快速連接法蘭結(jié)構(gòu)采用本公司有的知識(shí)產(chǎn)權(quán)設(shè)計(jì),提高操作便捷性。

3、 中真空系統(tǒng)具有真空度上下限自動(dòng)控制功能，高真空系統(tǒng)采用高壓強(qiáng)，耐沖擊分子泵，防止意外漏氣造

成分子泵損壞，延長(zhǎng)系統(tǒng)使用壽命。

4 、(電動(dòng))滑動(dòng)系統(tǒng)采用溫度控制器自動(dòng)控制爐體移動(dòng)，等程序完成，爐體按設(shè)定的速度滑動(dòng)，因有滑動(dòng)限

位功能爐體不會(huì)發(fā)生碰撞，待樣品露出爐體后，通過(guò)風(fēng)冷系統(tǒng)快速降溫。

氣體流量，實(shí)時(shí)查看各路氣體流量曲線

5、 每條氣路均設(shè)置高壓截止閥，方便切斷氣路
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技術(shù)參數(shù)：

1、 氣體通路：X條客戶自由定制

2、 氣體類型：客戶自由選擇

3、 流量計(jì)量程：5—500SCCM；1—10SLM自由選擇

4、 工作電壓：220v/50Hz

5、 工作壓差：0.1-0.5MPa

6、 額定壓力：3MPa

7、 準(zhǔn)確度：±1.0%F.S

8、 質(zhì)子流量計(jì)相應(yīng)時(shí)間：＜1S

9、 測(cè)量范圍：0.1-0.15MPa

10、混氣罐：304不銹鋼

11、進(jìn)出氣接口：直徑6mm不銹鋼卡套接口

12、管道：內(nèi)部管道采用直徑6mm不銹鋼管；外部管采用6mm聚四氟管

13、控制系統(tǒng)：PLC控制系統(tǒng)，液晶觸摸屏輸入，每路氣路立控制