高真空CVD系統(tǒng)是一款專業(yè)在沉底材料上生長(zhǎng)高質(zhì)量石墨烯、碳納米管、碳化硅的設(shè)備，廣泛應(yīng)用于在半導(dǎo)體、納米材料、碳纖維、碳化硅、鍍膜等新材料新工藝領(lǐng)域。二、產(chǎn)品特點(diǎn)高真空CVD系統(tǒng)主要由高溫腔體、石英管、石英支架、氣路系統(tǒng)、分子泵機(jī)組、自動(dòng)化控制系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)等組成。

CVD系統(tǒng)設(shè)備由沉積溫度控件、沉積反應(yīng)室、真空控制部件和氣源控制備件等部分組成亦可根據(jù)用戶需要設(shè)計(jì)生產(chǎn)，除了主要應(yīng)用在碳納米材料制備行業(yè)外，現(xiàn)在正在使用在許多行業(yè)，包括納米電子學(xué)、半導(dǎo)體、光電工程的研發(fā)、涂料等領(lǐng)域。

CVD成長(zhǎng)系統(tǒng)是利用氣態(tài)化合物或化合物的混合物在基體受熱面上發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而在基體表面上生成不揮發(fā)涂層的一種薄膜材料制備系統(tǒng)。

1、沉底材料可采用銅箔、石墨等;

2、生長(zhǎng)腔體采用高純石英管，配石英支架、為石墨烯等材料的生長(zhǎng)提供潔凈環(huán)境;

3、爐膛采用高純氧化鋁多晶體纖維，不易掉粉、壽命長(zhǎng)且保溫性能好。加熱絲采用質(zhì)摻鉬鐵鉻鋁合金加熱絲，溫場(chǎng)均勻，能耗低；

4、密封法蘭均采用不銹鋼材質(zhì)，配水冷套，可連續(xù)長(zhǎng)時(shí)間工作;

5、氣路系統(tǒng)采用兩路質(zhì)量流量計(jì)(可拓展多路),配預(yù)混系統(tǒng);

6、氣體種類：He/Ar、C2H2、NH3、N2,H2、PH3、GeH4、B2H6；

7、溫度、氣體、真空、冷卻水等通過(guò)PLC控制，通過(guò)PC實(shí)時(shí)控制和顯示相關(guān)的實(shí)驗(yàn)參數(shù)，自動(dòng)保存實(shí)驗(yàn)參數(shù)，也可采用手動(dòng)控制；

8、系統(tǒng)采用集成化設(shè)計(jì)，控制系統(tǒng)、混氣罐、質(zhì)量流量計(jì)等均內(nèi)置在箱體內(nèi)部，占地面積小。整體安裝四個(gè)可移動(dòng)輪子，方便整體移動(dòng)。

CVD系統(tǒng)產(chǎn)品的特點(diǎn)：

1、兼容、常壓、微正壓多種主流的生長(zhǎng)模式

2、可以在1000Pa-0、1Pa之間任意氣壓下進(jìn)行石墨烯的生長(zhǎng)

3、使用計(jì)算機(jī)控制，可以設(shè)置多種生長(zhǎng)參數(shù)

4、可以制備高質(zhì)量，大面積石墨烯等碳材料，尺寸可達(dá)數(shù)厘米，研究動(dòng)力學(xué)過(guò)程

5、沉積效率高；薄膜的成分準(zhǔn)確可控，配比范圍大；厚度范圍廣，由幾百埃至數(shù)毫米，可以實(shí)現(xiàn)厚膜沉積且能大量生產(chǎn)

CVD系統(tǒng)用途：

此款CVD系統(tǒng)適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控

生長(zhǎng)、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)真空淬火退火，快速降溫等工藝實(shí)驗(yàn)。

CVD系統(tǒng)組成：

配置：

1、1200度開(kāi)啟式真空管式爐（可選配多溫區(qū)）。

2、滑動(dòng)系統(tǒng)分為手動(dòng)、電動(dòng)滑動(dòng)，并配有風(fēng)冷系統(tǒng)。

3、多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

4、真空系統(tǒng)（可選配中真空或高真空）

CVD系統(tǒng)特點(diǎn)：

1、控制電路選用模糊PID程控技術(shù)，該技術(shù)控溫精度高，熱慣性小，溫度不過(guò)沖，性能可靠，操作簡(jiǎn)單。

2、氣路快速連接法蘭結(jié)構(gòu)采用快捷法蘭，提高操作便捷性。

3、中真空系統(tǒng)具有真空度上下限自動(dòng)控制功能，高真空系統(tǒng)采用高壓強(qiáng)，耐沖擊分子泵，防止意外漏氣造成分子泵損壞，延長(zhǎng)系統(tǒng)使用壽命。

4、電動(dòng))滑動(dòng)系統(tǒng)采用溫度控制器自動(dòng)控制爐體移動(dòng)，等程序完成，爐體按設(shè)定的速度滑動(dòng)，因有滑動(dòng)限位功能爐體不會(huì)發(fā)生碰撞，待樣品露出爐體后，通過(guò)風(fēng)冷系統(tǒng)快速降溫。